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半导体工艺装备时时彩后二技巧文件手艺请求的编写措施与手艺

2018-12-21 11:49 泉源: 时时彩后二技巧推销治理

  半导体工艺装备手艺请求是该类时时彩后二技巧文件的焦点编写内容,是时时彩后二技巧能否告成的要害。本文针对半导体工艺装备时时彩后二技巧手艺请求编写不完善、不清晰、不准确,组成中标半导体工艺装备不克不及完全婚配工艺手艺及应用情形请求的情形,对相关请求编写措施阻拦了研究剖析,并联络多年的现实履历,从正式编写时时彩后二技巧手艺请求前的准备使命、手艺请求的组成要素、各要素的要害点、详细手艺性能目的的体现形式、要害性手艺请求设置、“综合评价法”评标措施的有用应用等方面,提出了编写措施和手艺。
  一、前言
  时时彩后二技巧手艺请求是时时彩后二技巧文件的灵魂,是决议时时彩后二技巧告成与否的焦点因素。2017年9月,国家生长刷新委等九部委联络揭晓《尺度装备推销时时彩后二技巧文件》,使尺度装备时时彩后二技巧文件中资格、商务等外容所有完成了名堂化,由时时彩后二技巧人凭证现内情形阻拦填写,但手艺请求部门(即供货请求)照旧空缺,完全需时时彩后二技巧人凭证推销标的物阻拦编写。这注解手艺请求提出的难度和严重年夜性。
  时时彩后二技巧手艺请求文件请求编写职员专业手艺水平高,综合知识才干强,具有优胜的语言表达和写作才干,同时要控制照顾的司执律例请求。现在,许多时时彩后二技巧人在编写装备时时彩后二技巧手艺请求文件时,通常存在手艺请求因素不完全、要害性手艺请求设定不够迷信公正、不克不及综合平衡手艺请求与价钱关系招致中标装备性价比不高、不克不及完全知足工艺手艺请求的情形。下面,笔者就以半导体工艺装备为例,对若何编写完善准确、具有综合平衡性的高质量时时彩后二技巧手艺请求文件阻拦研究。
  2、时时彩后二技巧手艺请求文件的编写
  1.正式体例半导体工艺装备时时彩后二技巧手艺请求文件前须要做好的使命
  时时彩后二技巧推销半导体工艺装备是为了知足半导体产物制造特定工序请求,是以,正式编写半导体工艺装备时时彩后二技巧手艺请求前,必须做好下面三方面的使命。
  首先,剖析研究半导体产物制造选择的工艺蹊径妄图,本工序可选择的工艺手艺措施,不合工艺手艺措施对工艺蹊径妄图及曲折工序的影响。以工序的优胜不合性、重复性、经济性、效力、事实效果等因素最好婚配为凭证,一定可拔取的工艺手艺措施种类。
  其次,凭证可拔取的工艺手艺措施种类,充实调研市场上能否有3家以上半导体工艺装备制造商可以供应知足请求的装备,相关装备的稳固性、可靠性及厂家的售后服务才干,装备制造商之间能否具有充实竞争性等外容。
  最后,凭证工序可选择的工艺手艺措施种类,联络市场调研情形,从手艺和投资效益两方面阻拦综合平衡,择优拔取工序的工艺手艺措施,一定半导体工艺装备时时彩后二技巧规模,并据此群集整理体例半导体工艺装备时时彩后二技巧手艺请求文件所需的所有质料。
  2.半导体工艺装备手艺请求组成及主要内容
  半导体工艺装备手艺请求浅易网罗以下几方面:用处、主要组成及功效性能、详细手艺性能目的、水电气动力条件、装配园地条件、情形掩护和节能减排等对装备的请求、对装备验收的项目和手艺性能目的请求及需供应的手艺质料、装配调试及手艺培训、装备的运输条件请求、售后服务请求。为了进一步尺度时时彩后二技巧手艺请求,对同类半导体工艺装备手艺请求组成尺度条目和编列内容范本是一个主要生长偏向。
  半导体工艺装备的用处在手艺请求中需直抒己见、清晰准确地形貌出来,目的是给招标人准确信息,让他们断定自己哪类装备才干知足时时彩后二技巧人的请求,以利于招标。
  半导体工艺装备手艺请求必须准确提出装备的主要组成及功效性能,告诉招标人清晰的信息。装备组成属于供货规模的焦点内容,必须清晰明确,浅易网罗机械、电器、控制部门、备附件等软硬件。
  半导体工艺装备详细手艺性能目的是手艺请求的焦点,是时时彩后二技巧装备知足工艺手艺请求,保证装备运转经济、掩护维修精练、应用可靠性高的前延迟提。装备手艺性能目的写得越完全详细,定位就越清晰准确,招标人选择的招标装备与时时彩后二技巧请求就越婚配。装备详细手艺性能目的应网罗:结构请求、控制要领、使命要领、有用使命尺寸规模、精度、重复性、稳固性、可靠性、适用工艺规模、与工艺有关的溶液和溶质、使命节奏、数据输入输入接口请求、无误差使命时间、质量尺度、计量系统、误差报警形式、安然性请求等外容。榨取提收工艺手艺和应用情形不现实须要的性能目的用来设置排他性条目。
  半导体工艺装备手艺请求应凭证水、电、气等方面的国家尺度和市政条件限制,明确提出对装备应用水、电、气等方面的请求,以阻拦增添更多投资资源;必须明确装配情形条件对装备的请求,防止对园地阻拦严严重年夜刷新增添投资资源;需明确装备装配园地是空中或是楼面,承重才干,面积及空间职位,装备进场蹊径的限制条件等对装备长、宽、高及重量请求,和特殊防微振请求等。
  半导体工艺装备手艺请求中应凭证国家环保、节能减排、职业卫生和职业安然律例及尺度,对时时彩后二技巧半导体工艺装备提出照顾请求,确保中标装备知足国家强迫尺度请求。
  半导体工艺装备手艺请求中须要明确对装备验收的详细内容及手艺性能目的请求,明确可以吸收的条约装备最低手艺性能考察目的,浅易分为预验收和终验收两阶段。预验收在装备制造工厂阻拦,浅易装备由制造商自行组织,严重年夜装备由制造商和用户合营阻拦。必须明确预验收须要制造可追溯的有用纪录文件,浅易以装备自己的结构和手艺性能目的考察为主,主要内容网罗:装备的结构强度检测、功效完善性、主要性能目的、精度、重复性、不合性、运转状态、顺应工艺性、工艺才干及精度等方面。装备终验收是特殊主要的阶段,是时时彩后二技巧效果事实吸收的标志。终验收在装配园地阻拦,是装备正式移交用户时阻拦的验出使命,验收内容须要周全详细准确,对条约商定考察的手艺性能目的必须阻拦完全考察,考察效果必须到达条约商定可以吸收的最低手艺性能考察目的,供方代表和用户代表须要合营签署具有司法效力的详细验收纪录,验收纪录中必须明确:未到达条约商定验收尺度部门的处置赏罚赏罚措施、正式验收时间盘算日、装备保修盘算起止时间等。条约商定的装备相关手艺质料均应作为验收内容。
  半导体工艺装备的装配调试和手艺培训是用户现场阻拦的焦点使命内容,浅易网罗:对到用户现场的工程师详细请求、工程师现场使命天数及完成的使命内容、对用户手艺职员培训的时间及内容等。手艺培训的详细内容应含:装备的组成、原理、功效、适用工艺规模、特殊重视事项、基本及高等操作、工艺制造、寻常运转治理及掩护、误差诊断及扫除、对焦点条件的保证请求等。
  半导体工艺装备手艺请求必须凭证半导体工艺装备特点,提出装备运输历程当中防震、防盐雾、防进击、防湿度等请求,以保证装备运输安然。
  售后服务是装备手艺请求的主要组成部门,必须明确装备制造商(供应商)对装备泛起误差后的回声速率、到达现场扫除误差和触及零部件替换的时间请求、规准时间内未完成误差扫除的处罚措施等外容。
  3、时时彩后二技巧手艺条目的设定
  凭证时时彩后二技巧招标规则,手艺条目分为本质性要求和浅易性请求。
  1.本质性请求
  手艺条目的本质性请求属于否决条目,招标人对本质性请求必须知足或供应优于其请求的条件和目的到达完全照顾,否则视为未本质性照顾时时彩后二技巧人的请求,招标将被否决。手艺条目的浅易性请求只在时时彩后二技巧文件划定的负偏离项数规模内允许招标人存在负偏离。
  时时彩后二技巧文件中设定的要害性手艺请求关于遴选手艺上及格的招标人起着无足轻重的作用。设定的要害性手艺请求偏高、项数过量,将招致潜在招标人数目年夜幅增添,组成竞争的充实性缺乏,增添时时彩后二技巧推销的资源;若要害性手艺请求设置偏低、项数偏少,将招致知足要害性手艺请求的门槛偏低,存在中标装备不克不及完全与工艺手艺相婚配、运转质量差和经济资源高的风险。这里尚有一项特殊主要的重视事项,为防止招标人背背忠诚信用准绳,确保中标装备最年夜限制地知足时时彩后二技巧请求,时时彩后二技巧文件须要对属于本质性条目的要害性手艺请求的有用手艺支持质料阻拦划定,这样有益于评标时审查和评审。通常将属于本质性条目的要害性手艺请求有用手艺支持质料设定为以下之一:制造商地下辟布的印刷质料、检测机构出具的检测申报、制造商官网地下辟布的招标装备手艺性能目的、特殊情形下的详细手艺论证妄图(非标装备等)。
  2.浅易性请求
  浅易性手艺请求也是确保时时彩后二技巧告成的主要组成部门,具有量多面广的特点。是以,可以把浅易性手艺请求中的主要内容设定为不合于通用请求的具有特点特点的允许误差规模,而且明确划定逾越允许负偏离规模将视作不照顾本质性手艺条目请求,招标将被否决,这样既可以保证时时彩后二技巧人的手艺请求不被降低,又可以扩年夜太过竞争。浅易手艺请求允许负偏离的最多项数通常设定为3~5项为好。准绳上,时时彩后二技巧文件禁绝可招标文件存在任何漏项。
  时时彩后二技巧具有3家以上及格招标人加入才干组成有用竞争,保持公正太过竞争对时时彩后二技巧人最有益,既可保持手艺请求的高质量,又可以降低推销资源。为了量化竞争充实性,用C=F/3(C为竞争系数,F为潜在招标人,3为《时时彩后二技巧招标法》划定的具有3家以上潜在招标人才网网接纳时时彩后二技巧要领) 体现,当C=1时,诠释有3家潜在招标人加入竞争,竞争是有用的;当C<1时,诠释潜在招标人少于3家,没法组成有用竞争;当C>1时,诠释有4家以上潜在招标人加入竞争,现实上C越年夜体现竞争越强烈,但关于时时彩后二技巧人着实不是C越年夜越有益。由于同类半导体工艺装备存在不合条理,时时彩后二技巧装备都针对特定工艺和应用情形请求,是以,知足时时彩后二技巧请求的半导体工艺装备是无限制的,推敲有用竞争与手艺保证的综合平衡性,凭证履历,编写半导体工艺装备时时彩后二技巧手艺请求时,通常将C系数控制在1≤C≤2规模较为公正。
  四、“综合评价法”评标措施的评分尺度设定
  《尺度装备推销时时彩后二技巧文件》(2017年版)应用诠释中的第四条划定,“时时彩后二技巧人选择适用‘综合评价法’的各评审因素的评审尺度、分值和权重等由时时彩后二技巧人自主一定。国务院有关部门对各评审因素的评审尺度、分值和权重等有划定的,从其划定。”
  时时彩后二技巧人接纳“综合评价法”的评标措施时时彩后二技巧,通常针对手艺严重年夜的半导体工艺装备,是以,必须做好市场调研,阻拦深刻研究,综合平衡商务、手艺、招标报价之间的分值权重,做到迷信公正,防止泛起只看价钱曲折不看性能目的曲折或只看手艺性能目的曲折不看价钱曲折的极端情形,完成以最公正价钱取得最适用装备。
  1.不克不及设定为评分项的内容
  资格条件是门槛,招标不知足将被否决,不克不及设定为评分红分;属于本质性条目的要害手艺请求,也是招标不知足将被否决,异常不克不及设定为评分红分。
  2.招标报价、商务和手艺分值设定的基泉源基础则
  必须做好招标报价、商务和手艺之间的平衡性,确保时时彩后二技巧半导体工艺装备的性价比最好,条约推行、装备运转及售后服务最优。
  凭证履历,浅易装备报价分值通常设置为30~40分规模。价钱分权重设置太低,不克不及组成有用竞争,能够招致低价中标;若价钱分权重设置太高,不克不及与手艺请求有用平衡,存在严重年夜手艺性能目的难以有用保证的艰辛。
  通常商务分值权重设置为10~20分规模。商务分值是为了体现招标人的内在价值,也是为确保中标装备的质量可靠性。时时彩后二技巧人要深刻研究既可以设定为资格条目又可以设定为商务评分尺度的内容,在不背背《时时彩后二技巧招标法》条件下,选择对时时彩后二技巧人有益的条件设定,设置公正的评分尺度分值,确保时时彩后二技巧人的正当利益。
  接纳“综合评价法”评标措施时时彩后二技巧,通常是装备手艺严重年夜项目,是以,设定的手艺分值规模和评分尺度应迷信公正、体现客不雅不雅性,将手艺评分尺度设置成定值分最好。若由于种种启事,评分尺度设置为定值分有艰辛,评分尺度分值区间不克不及设置太年夜,以阻拦给评标专家过年夜自在讯断权,容易招致评标尺度的不不合性,掉落去公正性。凭证履历,凭证半导体工艺装备手艺性能庞洪水平曲折,手艺部门分值权重设置为40~60分规模较为公正。必须分清主要手艺因素、浅易手艺因素,凭证主要水平差异,设置不合权重的评分尺度值。所有非本质性请求的手艺因素都必须给予公正评分尺度分值,否则由于评分尺度分值设定缺项,存在中标装备没法知足工艺手艺请求的隐患,组成时时彩后二技巧的掉落败。
  五、时时彩后二技巧人组织外部专家评审
  半导体工艺装备时时彩后二技巧手艺请求是一个异常严重年夜的综合性文件,为了确保时时彩后二技巧告成,时时彩后二技巧人应组织相关专业专家对装备手艺请求、本质性和浅易条目请求、接纳“综合评价法”评标措施时时彩后二技巧的分值设置规模及评分尺度设置等阻拦评审,防止存在弱点、缺项、不迷信公对等情形,防止组成时时彩后二技巧严严重年夜损掉落。
  专家评审主要内容为:装备请求与工艺手艺的婚配性、手艺请求文件的完全性、手艺条目划定的迷信公正性、手艺因素形貌的准确性、接纳“综合评价法”评标措施所设定的商务、手艺、招标报价部门的分值规模公正性及评分红分和尺度的准确性、各条目和内容的正当合规性等。
  专家评审不只是发现效果,更是对手艺请求文件质量的有用磨练。凭证履历,专家评审发现1条本质性手艺条目不切合请求,可剖断半导体工艺装备时时彩后二技巧手艺请求编写不及格;关于浅易性手艺条目缺掉落、弱点、不完善,一个时时彩后二技巧手艺请求文件中不克不及逾越10条,逾越可剖断为手艺请求编写不及格。专家组评审完成后,应组成书面看法,时时彩后二技巧人必须组织团队依此阻拦修改完善,以前进时时彩后二技巧手艺请求文件的质量。
  半导体工艺装备时时彩后二技巧手艺请求编写是一个异常严重年夜且具有难度的使命,时时彩后二技巧人必须根绝由装备应用手艺职员伶仃担负编写的情形,应当组织产物设计、工艺手艺、装备应用及维修掩护等手艺职员和时时彩后二技巧治理职员组成时时彩后二技巧手艺请求编写团队,由团队担负完成时时彩后二技巧手艺请求文件的编写,使时时彩后二技巧手艺请求迷信公正、清晰准确、正当合规,以保证时时彩后二技巧效果知足工艺手艺和应用情形请求,确保时时彩后二技巧人的利益。
  总之,由于半导体工艺装备具有种类多、手艺严重年夜、快速换代的特点,使体例时时彩后二技巧手艺请求难度年夜增,为了进一步前进时时彩后二技巧质量,除时时彩后二技巧人应组织精悍团队编写好时时彩后二技巧手艺请求外,由半导体相关行业协会组织实力阻拦深刻研究,组成同类半导体工艺装备时时彩后二技巧手艺请求条目及编列内容的树范文本也是主要的完成蹊径和一定的生长趋势。
  作者:彭兴文   卢丹丹   卜姝
  (作者单元:彭兴文,卢丹丹,中国电子科技全体公司第二十六研究所;卜姝,北京安捷工程咨询无限公司 )

标签:
半导体装备, 时时彩后二技巧文件, 编写措施
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